keonhacai keohay Đang phát triểnMục tiêu phún xạ AlSc

Bộ lọc tần số vô tuyến (RF) được sử dụng để hoạt động trong các thiết bị liên lạc di động ở băng tần 800 đến 2500 MHz
Bộ lọc SAW, sử dụng sóng âm bề mặt (SAW) truyền trên bề mặt của chất nền áp điện, được sử dụng rộng rãi làm bộ lọc RF
Gần đây hơn, việc sử dụng sóng âm số lượng lớn (BAW) cho mục đích thương mại đã tiến triển và việc áp dụng BAW đang lan rộng ở các dải tần khó thông thường nơi không thể sử dụng được bộ lọc SAW Trong tình huống này, chúng tôi đang cung cấp các mục tiêu AlSc với các đặc tính vượt trội so với các vật liệu trước đó Hợp kim AlScN hứa hẹn có hằng số áp điện cao, cao hơn khoảng mười lần so với hợp kim AlN thông thường
Chúng tôi đã phát triển quy trình sản xuất để tạo ra mục tiêu AlSc có lượng oxy thấp hơn nhiều - điều này ảnh hưởng đến đặc tính áp điện - so với mục tiêu AlSc hiện có